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PHS树脂

一、产品性能与用途

PHS树脂是一种用于深紫外光刻胶的高性能感光树脂,普遍应用于半导体芯片制造中的光刻工艺环节。其焦点性能包括高纯度、高区分率、优异的热稳固性和化学稳固性,能够知足半导体制造对高精度、高可靠性的严苛要求,有用提升光刻胶在芯片图案化历程中的成像质量和工艺稳固性。别的,还可用于电子封装质料、涂料和粘合剂等领域。

二、手艺指标

检测项目 指标-1 指标-2
外观 淡黄色透明液体 淡黄色透明液体
固含量/% ≥35.0 ≥35.0
重均分子量(Mw) 10000±2000 14000±1000
分子量漫衍宽度(PD) ≤1.55 ≤1.25
单金属离子含量/ppb <10 <10

注:可凭证客户要求定制差别结构、分子量、金杂含量的产品。

三、包装与贮存

包装:接纳电子级塑料桶包装,每桶重量1kg、2kg、5kg、10kg或20kg�?善局た突枨蠖ㄖ�。贮存:阴凉处贮存,阻止阳光直射,远离热源,贮存期12个月。

四、清静防护

操作时注重劳动�;�,应阻止与皮肤、眼睛等直接接触,接触后用大宗清水冲洗。

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